背照式图像传感器

XJzy

背照式(BSI)图像传感器是指采用从背面对传感器进行照明，即采用背面照度技术(BSI）的传感器。采用BSI构建像素，光线无需穿过金属互连层。然而，这仍然对光路径带来一些限制，幸运的是，促使FSI技术不断改进的许多知识和技术进步可以直接应用于BSI技术，从而为提高BSI性能打下了坚实的基础。

BSI的主要优势是能够使电气组件与光线分离，使光路径能够被独立地优化，反之亦然。而且，这无需在金属层或光导管中创建一个孔径，从而消除了入射光的损耗机理。其最终结果是BSI能够获得更高的QE。BSI图像传感器超越传统FSI器件的另一个主要优势是像素的光堆叠高度更低。但应当注意的是，相比具有光导管的FSI架构，这一优势并不明显，这是因为对于后者，由于光线在互连堆叠的顶部聚集，并由光导管限制和导引到光电检测器表面，有效光堆叠高度也会减小。